林本堅：台積電當年無法參加EUV LCC聯盟 量產卻領先

台積電（2330）前研發副總經理、清大半導體研究學院院長林本堅今（27）日提到，台積電當年無法參加EUV LCC聯盟，不過卻想辦法先採浸潤式（Immersion）微影技術努力，後來EUV量產也領先，甚至超車當年在EUV LCC聯盟的英特爾，他並盼清大半導體研究學院後續培育更多人才，鞏固台灣半導體業一流地位。

林本堅今日以院長身分出席清大半導體研究學院揭碑並回應媒體提問時做上述表示。

林本堅回憶，過去2002年左右英特爾與摩托羅拉、AMD等企業一起成立EUV LCC聯盟，一起出錢出力，希望研發設備後出來應用於60、40奈米等，台積電最初也想加入，不過還被杯葛、因僅限6家，最後1個位子被IBM搶到導致台積電無法加入，不過後來台積電團隊想辦法先採浸潤式（Immersion）微影技術，後來EUV量產也領先這些在聯盟中的大廠。

他也說，EUV LCC聯盟的最初6位成員除了英特爾之外，其他5家後來都沒參與了。

今日清大半導體研究學院揭碑的11家合作廠商包含台積電、力積電（6770）、世界（5347）、敦泰（3545）、東京威力科創、美光、南亞科（2408）、聯電（2303）、環球晶（6488）、聯詠（3034）、聯發科（2454）、欣興（3037）等，回應外界關注今日清大半導體學院的夥伴未見到英特爾，林本堅也指出，也歡迎英特爾加入。