ASML：只有EUV無法賣到大陸 其它都不受限

荷商艾司摩爾（ASML）全球副總裁、中國區總裁沈波表示，大陸市場占ASML全球微影機銷量的三成左右，向大陸出口積體電路微影機持開放態度，在法律法規框架下全力支持。目前極紫外光（EUV）微影機依然無法出貨給大陸客戶，其他產品都可以出貨。

不過今年初中芯國際與ASML簽約，購買用於成熟製程的深紫外光（DUV）微影機設備訂單還沒有到貨，並且隨著採購協議的最後期限臨近，恐怕這筆訂單將要跳票，從而危及中芯國際的擴產計畫。

第三次參加中國國際進口博覽會（簡稱「進博會」）的ASML，在展會上透過3D影片分享微影機的基本原理，光源經過聚光鏡聚光，投向光罩，再穿過光罩上的電路圖案，透過投影物鏡將影像聚焦到晶圓上。

沈波表示，ASML想借助參展進博會的舞台，讓更多人對ASML和微影機產品有更多瞭解，近年隨著大陸各地都在布局晶片產業，各省市政府層面參加進博會的人對ASML也有很大興趣，也希望能夠向他們說明晶片行業。

受益於全球「缺芯」背景下的擴產潮，下游晶圓廠對於微影系統的需求仍在高點，ASML財報顯示，第三季共出貨79台微影系統，總量比上季多出7台；同期淨利潤17億歐元，較上一季增長67.6%，銷售額52.41億歐元，較上一季增長30.4%，多項業績數據均創下歷史紀錄。

面對旺盛的需求，沈波表示，ASML已經在擴大產能，並運用公司的安全庫存提升交貨，但由於產業鏈太長，暫時還沒有辦法完全滿足用戶需求，「我們平等對待全球每一個客戶，即使在產能上漲的情況下，也沒有漲價。」